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什么叫溫度均勻度？
在任一時刻，工作空間的其他點的溫度與工作空間幾何中心點溫度的*大差值。 就是一組數據的平均值。
1、 測量點數量及位置
溫度波動度測量點為設備指示點，溫度均勻度測量點數量及位置與溫度偏差相同。
2、 檢定步驟
溫度波動度和溫度均勻度的檢定步驟與溫度偏差同時進行。
3、 數據處理與計算
在進行溫度偏差計算的同時，計算溫度波動度和溫度均勻度。
(1) 溫度波動度計算公式：
△ Tf=±(Tfmax-Tfmin)/2
式中：△Tf------溫度波動度，℃；
Tfmax------設備指示點在30min內的實測*高溫度值，℃
Tfmin------設備指示點在30min內的實測*低溫度值，℃
(2) 溫度均勻度計算公式：
(3) 15
△Tu=【∑(Tjmax-Tjmin)】/15
J=1
式中：△Tu------溫度均勻度，℃；
Tjmax------各測量點在第j次測量中的實測*高溫度值，℃；
Tjmin------各測量點在第j次測量中的實測*低溫度值，℃。
波動度
溫度 ±0.5℃
濕度 ±2.0%R.H
均勻度
溫度 ±1.5℃
濕度 ±3%R.H
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